本案例計算從傳輸中得到的衍射光學元件的高度分布和結構數據的產生
關鍵詞：衍射光學，衍射光學元件，結構數據，GDSII，ASCII，位圖
所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在試用版本中不可用。聯系LightTrans或者當地經銷商可申請一段全版本的試用。
相關Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2
建模任務
照射光束強度 衍射擴散器 產生的光圖樣強度
建模任務
² 擴散器參數：
—相位層：4
—像素尺寸：830*830nm
—口徑：1*1mm
—周期：664,83*664,83um
² 結構數據輸出為二進制格式
² 需要的高度分布計算
² 蝕刻掩模分解
² 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件
打開光學擴散器系統
² 上載文件
DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
² 文件在VL_Samples文件夾中
光學擴散器系統
² 點擊Go!按鈕開始模擬擴散器系統.
模擬結果
² 擴散器系統產生的光圖樣強度分布
傳輸器提取
² 雙擊光路徑圖中的Stored Transmission打開編輯對話框
傳輸器(transmission)提取
² 點擊Show按鈕顯示光路中的transmission.
擴散器傳輸
² 點擊Cancel按鈕
結構數據的產生
² 點擊窗口上部以激活窗口
² 點擊設計菜單中Structure Design
結構數據的產生
² 該結構設計對話框計算采用薄元件近似的傳輸相位得到的高度分布
² 近似對于大于5個波長的有效。對于越小的越不精確。
² 選擇Target File Export以產生結構數據
結構數據的產生
² 對話框可以計算微小結構透明板和鏡面.
² 選擇Height Profile of Transparent Plate.
結構數據的產生
² 設置正確的襯底和覆蓋材料
² 點擊Set按鈕
結構數據的產生
² 對話框顯示所有打開的材料文件的菜單
² 如果沒有想要的材料文件打開，點擊Load from Catalog 按鈕從catalog中得到材料.
結構數據的產生
² 選擇材料目錄Miscellaneous
² 選擇材料PMMA
² 點擊Load按鈕.
結構數據的產生
² 輸入設計波長
² 如果衍射元件包含不連續高度層的高度分布，開啟Enfore Quantization，
² 輸入層數4
結構數據的產生
² 結構設計對話框顯示需要調節的高度分布的深度使產生2pi相位差（一個波長）
² 另外，可以查看考慮到特定層數的高度分布圖調節深度
結構數據的產生
² 下面部分可以定義結構的數據格式
² VirtualLab產生兩種不同類型的文件：
—參數匯總文件包括大部分輸入參數的概括，如蝕刻深度，設計波長，元件名稱等等。數據可以存儲為.xml, .html或者.txt文件。
—表面數據文件包括高度數據。數據可以存儲為位圖（bitmap）,GDSII或者ASCII文件。
結構數據的產生
² 選擇你想要創建的參數匯總文件
² .xml文件是強制的和需要再次輸入到Virtuallab中
結構數據的產生
² 有效的文件類型依賴于制造技術
² 對于灰度印刷反選Use Layers. 高度分布數據可以存儲在位圖或Text格式（和ASCII格式）
² 對于二進制掩模技術選中Use Layers。不同層的數據可以存儲在bitmap和GDSII文件中。
² 選擇Bitmap和GDSII Data。
結構數據的產生
² 點擊Ok按鈕
結構數據的產生
² 出現一個保存對話框
² 選擇你要保存的文件夾輸入有效文件名
² 所有的數據文件可以有相同的名字而不同的擴展名
² 文件包含的蝕刻掩模(etching mask)的數據將在文件名中有附加的掩模（層layer）數.Mask 1表示最深的蝕刻步.
輸出數據結果
數據輸出結果
² 打開Windows Explorer到VL_Samples文件夾
² 雙擊DO.8_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_02.xml file.
² Internet Explorer將顯示文件
數據輸出結果
² 該XML文件包含了所有參數的匯總并連接所有產生的表面數據文件
結論
² VirtualLab包含一個從傳輸器（transmission）中計算高度分布的結構設計
² 高度分布可以被輸出。VirtualLab包含結構數據的不同文件格式（GDSII，ASCII，Bitmap格式）。
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