案例514（2.0）
該應用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結構的嚴格分析與優化。此外，對直徑和高度等結構參數的影響進行了研究，并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。
1. 建模任務
對全部反射光進行嚴格仿真并對結構參數進行優化。
假設確定的蛾眼結構作為截錐三維光柵。
2. 建模任務：3維平頂錐
3. 3維光柵結構建模
VirtualLab提供了不同預定義的光學界面用來簡化復雜3維光柵的設計。
例如截錐金字塔和錐體可從現有目錄中選擇。
可將周期性再現功能應用于任意形狀光學界面，用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
4. 結構參數
優化過程中保持不變的參數：
1. 高度因子：1(該參數可用于翻轉結構)
2. 底部直徑：125nm
3. 周期尺寸：125nm
優化過程中變化的參數：
1. 高度(頂圓直徑=30nm)
2. 頂部直徑(高度為1中優化后的高
5. 3維截錐結構的建模
VirtualLab提供了不同選項來設計3維截錐結構。
如高度、頂部及底部直徑等重要的參數可非常方便地進行調整。
通過“周期化”標簽，所有指定的面都可被周期化定義。
6. 頂部直徑的優化
利用參數運行文檔，找到最佳的頂部直徑(最低的反射率)
當截錐頂部直徑小于100nm時，隨直徑增大，反射率緩慢增大；當頂部直徑大于100nm時，隨直徑增大，反射率迅速增大。
直徑過小可能給生產帶來問題。因此，在后續的演示中將直徑選擇30nm
7. 錐體高度的優化
利用參數運行功能確定最佳的錐體高度(考慮之前優化后的頂部直徑30nm)。
在錐體高度為390nm處獲得最小反射率(對于垂直入射)。
8. 角度敏感度分析
在入射角小于60°時，抗反射結構有效降低反射率(近似于0)
由于采用偏振光(TM)，以55°入射在無抗反射結構的平面上時，反射率為0(所謂的布儒斯特角)。
9. 波長關系分析
抗反射結構在寬光譜范圍內(可見光范圍)降低了反射率，此處顯示的是垂直入射。
利用在532nm的優化策略使反射率最低值出現在532nm處。
10. 總結
VirtualLab中的光柵工具箱可對亞波長級別的3維光柵結構進行嚴格的分析。
這種分析采用全矢量傅里葉模態法，并在VirtualLab中使用。
利用參數運行，可進行光柵參數的優化以及光學函數的執行。
利用參數運行功能，也可對3維周期結構與入射角度和波長的關系進行分析。
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