不同輪廓亞波長光柵的成像 - 訊技光電科技(上海)有限公司

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不同輪廓亞波長光柵的成像

時間:2018-04-09 11:24來源:訊技光電作者: 技術部點擊:次打印

1. 摘要

亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產生一個衍射級，因此在這種情況下不會形成圖像。為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態法精確模擬亞波長光柵。

2. ·建模任務

3. 結果

4. 文件和技術信息

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