F-Theta掃描透鏡的性能評估

摘要

 

在激光掃描系統中，F-Theta鏡頭通常被設計用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標平面上的聚焦點位移與焦距和掃描角度的產生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統的標準鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過測量實際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。

 

建模任務

 

性能評估——光斑直徑測量

 

性能評估——光斑位置偏差

 

走進VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程
 

 從Zemax OpticStudio®導入透鏡系統

- 從Zemax導入光學系統 [用例] 

 

 分析實際透鏡系統的成像性能

- 分析高NA物鏡聚焦 [用例] 

 

 利用參數運行檢查不同參數的影響

- 參數運行文檔的使用 [用例] 

 

VirtualLab Fusion技術

  

 

文件信息

 

延伸閱讀
- 激光掃描系統性能分析
- 如何建立掃描光源