二維非傍軸光束分束超光柵的設計

摘要
 

與傳統光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優勢。在此示例中，我們設計了一個將入射光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形納米柱構成，并且在VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評估超光柵的衍射效率。 并且，我們展示了如何使用參數優化工具來提高衍射效率的均勻性。

 

 

設計任務

 

僅位相透射設計（IFTA）

 

僅位相透射設計（IFTA）

 

超表面晶胞分析

  

構建超光柵 

 

初始超表面設計的評估

  

參數優化

 

優化超光柵設計的評估

  

走進VirtualLab

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 分析超表面晶胞

- 納米柱超表面組件的嚴格分析 [用例]

 構造超光柵

 分析光柵衍射效率

- 光柵級次分析 [用例] 

 光柵結構參數優化

 

VirtualLab Fusion技術

   

 

文件信息