傾斜光柵的魯棒性優化

摘要                                                                            

 

 

由于制造過程中潛在的不準確性，對于一個好的光柵設計來說，面對光柵參數的微小變化，提供穩健的結果是至關重要的。VirtualLab Fusion為光學工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優化過程，例如參數變化分析儀。該工具結合了同一系統的多次迭代，在優化過程中實現了評價函數的表示和自動計算，如平均效率。在這個用例中，我們通過稍微改變填充因子來優化傾斜光柵來演示這個特性。            

仿真任務                                                                            

  

 

連接建模技術:傾斜光柵

                                                                     

 

可用的微結構建模技術:

                                                                                

光柵階數分析儀



參數變化分析儀                                                                            

  

                                                                             

 

參數優化                                                                            

 

                   

 

優化結果-平均效率

                                                   

 

優化結果-對比度